1.Turbine flow meter
콤팩트한 설계로 고정밀도의 유량 감지와 저온과 고온까지 온도에 따른 변화를 견딜 수 있는 구조이며 좁은 공간에서의 활용도를 높이기 위해 sensor부와 converter 부 등을 최소화 하여 반도체 장비에 널리 적용되는 유량계입니다. 또한 반도체 라인에서 사용할 수 있도록 "S"마크를 획득하여 전자파 및 여러 가지 주변상황에 견딜 수 있게 제작 되었습니다.
2.사 양(specification)
1. Model : CAS-FM Series
2. Range : Standard, 1~250 LPM
Different Range Available
3. Accuracy : ± 0.5 % of Full scale
4. Operating Temperature : -40~150℃
Option : -100~250℃
5. Humidity : 0 to 95% RH,
6. Power : 12 to 30 VDC with reserve polarity protection
7. Output : 0~5VDC
8. Electromagnetic compatibility (EMC & EMI)
“S” - according to
EN55011 : 1998/A1:1999/A2:2002
& EN61000-6-2:2001
9. Material :
Body : Stainless Steel 316L
Sensor : Aluminum
10. Sensor Type : Pick-up Sensor
Hall Sensor
3. 유량범위 (flow range)
| connection size |
flow range (lpm) |
| 1/2" |
2~ 25 |
| 3/4" |
3~ 60 |
| 1" |
15~150 |
| 1 1/4" |
15~160 |
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