개요
비저항 센서는 반도체라인에서 액체의 순도를 측정하는 중요한 장비이다. 이 비저항 센서는 반도체라인에서
사용하는 많은 종류의 액체에 적용할 수 있도록 제작 되었다. 그리고 높은 정확도와 높은 온도와 낮은
온도에서
사용할 수 있도록 제작 되었다. 매우 콤팩트하게 설계되어 좁은 장소에서도 설치가 용이하다.
제품 사양 (Specifications)
1. Model : CAS-RS Series
2. Liquid : D.I water, FC-3283,Galden, Other Chemicals
3. Range : 0~20㏁
4. Accuracy : ± 0.5 % of Full scale
5. Operating Temperature : -40~150℃
6. Operating Pressure : 10kg/cm2
7. Humidity : 0 to 95% RH,
8. Power : 24VDC with reserve polarity protection
9. Output : 4~20mA
10. Electromagnetic compatibility (EMC & EMI)
“S” - according to
EN55011 : 1998/A1:1999/A2:2002
& EN61000-6-2:2001
10. Material :
Body : SUS 316L
Sensor : SUS 316L
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